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探微知著,Sensofar共聚焦白光干涉儀的原理與應用

更新時間:2025-05-20點擊次數(shù):39
  在精密制造與微觀研究的領域中,精確測量物體表面的微觀結構和形貌變化是至關重要的。Sensofar共聚焦白光干涉儀作為一種高科技的測量工具,憑借其高精度和高分辨率的特點,廣泛應用于科研、工業(yè)等領域,為我們揭示了微觀世界的奧秘。
  一、Sensofar共聚焦白光干涉儀的原理
  儀器采用了先進的共聚焦技術和白光干涉技術。其工作原理是通過一個高亮度的光源發(fā)出白光,經(jīng)過特殊設計的光學系統(tǒng)后,形成平行光照射到樣品表面。樣品表面反射回來的光線再經(jīng)過光學系統(tǒng)聚焦到探測器上。在這個過程中,只有與焦點處樣品表面相對應的反射光能夠聚焦到探測器上,形成清晰的干涉圖像。通過移動Z軸,探測器可以記錄下一系列不同高度的干涉圖像。這些圖像經(jīng)過計算機處理,就可以精確地重建出樣品表面的三維形貌。
  二、使用方法及應用
  使用儀器時,首先需將被測樣品放置在測量平臺上,并通過調(diào)整樣品臺和光學系統(tǒng),使樣品表面位于光學系統(tǒng)的焦平面上。隨后,設置合適的掃描范圍、分辨率和光源強度等參數(shù),啟動測量程序。在測量過程中,儀器會自動采集并處理數(shù)據(jù),最終生成樣品表面的三維形貌圖像。
  該儀器廣泛應用于多個領域:在半導體行業(yè)中,可用于檢測芯片表面的光刻圖案和加工缺陷;在材料科學中,可用于分析材料的表面形貌和粗糙度;在生物醫(yī)學領域,可用于觀察細胞和組織的微觀結構。此外,在光學元件制造、精密機械加工等行業(yè)中,它也發(fā)揮著重要作用。
  三、Sensofar共聚焦白光干涉儀外觀示意圖

  總之,Sensofar共聚焦白光干涉儀以其高精度和高分辨率的特性,為科研和工業(yè)領域提供了強大的技術支持,成為探索微觀世界的得力助手。
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