布魯克三維光學(xué)輪廓儀使用指南

布魯克ContourX-500三維光學(xué)輪廓儀是一款基于白光干涉原理的測(cè)量設(shè)備，適用于表面形貌的三維重建。以下內(nèi)容介紹其結(jié)構(gòu)、性能及操作方法。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)包括光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械平臺(tái)和電子控制部分。光學(xué)系統(tǒng)采用Michelson干涉光路，配備可調(diào)光圈和濾光片輪，適應(yīng)不同樣品反射率。機(jī)械平臺(tái)采用絲杠驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)精度為0.1μm，帶有振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)。電子控制單元管理數(shù)據(jù)采集和運(yùn)動(dòng)控制，通過USB接口與計(jì)算機(jī)通信。

材料選擇上，外殼為冷軋鋼板噴涂處理，內(nèi)部支架采用鋁合金，光學(xué)部件安裝在鑄鐵基座上以減少熱變形。樣品夾具有磁性固定和夾具固定兩種方式。

性能參數(shù)：

• 垂直測(cè)量范圍：5mm

• 橫向分辨率：取決于物鏡，最高0.35μm

• 重復(fù)性：＜0.5% (@1σ)

• 掃描速度：可調(diào)，最大0.5mm/s

• 數(shù)據(jù)點(diǎn)間距：0.1μm至10μm可設(shè)

參數(shù)表：

• 型號(hào)：ContourX-500

• 測(cè)量原理：白光干涉

• 物鏡：標(biāo)配10X，可選其他

• 平臺(tái)移動(dòng)范圍：100mm x 100mm

• 重量：約40kg

• 電源：AC 220V, 50Hz

• 軟件：Vision64

用途覆蓋微加工表面檢測(cè)、涂層均勻性評(píng)估、摩擦學(xué)研究和微流體通道測(cè)量。在學(xué)術(shù)研究和工業(yè)檢測(cè)中均有應(yīng)用。

使用說明：開機(jī)后預(yù)熱10分鐘，啟動(dòng)軟件并初始化系統(tǒng)。選擇測(cè)量程序，設(shè)置掃描范圍和步長。進(jìn)行光強(qiáng)校準(zhǔn)和背景校正，放置樣品后開始測(cè)量。數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為CSV或圖像格式。每月建議檢查光路對(duì)齊和軌道潤滑。

ContourX-500的設(shè)計(jì)考慮了用戶操作的便利性，適合長時(shí)間測(cè)量任務(wù)。