在現(xiàn)代工業(yè)與科研領(lǐng)域,對(duì)微觀表面形貌的精準(zhǔn)測(cè)量是保證產(chǎn)品質(zhì)量與推動(dòng)技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵。Sensofar 新型共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀 S neox 憑借其多元的技術(shù)融合與穩(wěn)定的性能,在多個(gè)行業(yè)中都能發(fā)揮重要作用,成為微觀測(cè)量領(lǐng)域的多面手。
在半導(dǎo)體行業(yè),芯片的質(zhì)量直接決定了電子設(shè)備的性能,而芯片表面的微觀結(jié)構(gòu)測(cè)量是質(zhì)量管控的重要環(huán)節(jié)。S neox 的共聚焦技術(shù)橫向分辨率可達(dá) 0.10um,能清晰捕捉芯片電路的細(xì)微線條與間距,幫助工程師檢測(cè)電路是否存在短路、斷路或線寬異常等問(wèn)題。對(duì)于芯片封裝過(guò)程中的焊盤(pán)高度、凸點(diǎn)(Bump)尺寸等參數(shù),其白光干涉技術(shù)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)測(cè)量,確保封裝質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),S neox 支持最大 700×600mm2 的樣品測(cè)量,能滿(mǎn)足不同規(guī)格芯片的檢測(cè)需求,搭配 SensoPRO LT 軟件的 Bump 分析模塊,可實(shí)現(xiàn)批量芯片的全自動(dòng)檢測(cè),大幅提升生產(chǎn)效率。
光學(xué)制造領(lǐng)域?qū)υ砻尜|(zhì)量要求,S neox 的相位差干涉技術(shù)在此大顯身手。該技術(shù)具備亞納米級(jí)縱向分辨率,在測(cè)量光學(xué)鏡片的平整度、曲率半徑等參數(shù)時(shí),能提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。例如,在生產(chǎn)激光鏡片時(shí),通過(guò) S neox 可檢測(cè)鏡片表面是否存在微小劃痕、凹陷等缺陷,這些缺陷若未被及時(shí)發(fā)現(xiàn),可能會(huì)影響激光的傳輸效率與聚焦效果。其鏡頭采用低色散光學(xué)玻璃,能減少色差干擾,保證成像清晰,讓檢測(cè)人員能更準(zhǔn)確地判斷鏡片表面狀況。
汽車(chē)制造行業(yè)中,發(fā)動(dòng)機(jī)零部件的表面粗糙度對(duì)其耐磨性、密封性等性能有著重要影響。S neox 的多焦面疊加技術(shù)適合測(cè)量這類(lèi)具有一定粗糙度的金屬表面,掃描速度可達(dá) mm/s,能快速獲取零部件表面的三維形貌。通過(guò)軟件內(nèi)置的 ISO 4287 表面粗糙度測(cè)量算法,可自動(dòng)計(jì)算出 Ra、Rz 等參數(shù),為零部件的加工質(zhì)量評(píng)估提供依據(jù)。此外,樣品臺(tái)最大承重 20kg,能輕松放置如活塞、軸承等較大型的汽車(chē)零部件,滿(mǎn)足生產(chǎn)線上的檢測(cè)需求。
醫(yī)療器械行業(yè)對(duì)產(chǎn)品的精度與安全性要求嚴(yán)苛,S neox 在醫(yī)療器械表面處理檢測(cè)中表現(xiàn)突出。比如人工關(guān)節(jié)的表面粗糙度會(huì)影響其與人體組織的相容性,S neox 可對(duì)其表面進(jìn)行精細(xì)測(cè)量,確保粗糙度在合適范圍內(nèi)。對(duì)于微型醫(yī)療器械,如顯微鏡的鏡頭、微創(chuàng)器械的等,其共聚焦技術(shù)能清晰呈現(xiàn)表面微觀結(jié)構(gòu),檢測(cè)是否存在加工瑕疵。設(shè)備機(jī)身采用高強(qiáng)度鋁合金材質(zhì),表面經(jīng)陽(yáng)極氧化處理,具備良好的抗腐蝕能力,能適應(yīng)醫(yī)療器械生產(chǎn)車(chē)間的潔凈環(huán)境。
科研領(lǐng)域中,S neox 也是得力的研究工具。在材料科學(xué)研究中,可用于分析新型材料的表面形貌與性能之間的關(guān)系,如電池電極材料的表面結(jié)構(gòu)對(duì)電池性能的影響。在生物醫(yī)學(xué)研究中,能對(duì)細(xì)胞、生物組織的表面特征進(jìn)行觀察測(cè)量。其配備的 SensoMAP 軟件支持 3D、4D 分析等多種功能,能滿(mǎn)足科研人員對(duì)數(shù)據(jù)深度分析的需求,幫助他們獲取更有價(jià)值的研究成果。
無(wú)論是在精密制造的生產(chǎn)線上,還是在前沿的科研實(shí)驗(yàn)室,S neox 都能憑借其多樣的技術(shù)、穩(wěn)定的性能和廣泛的適用性,為不同行業(yè)的微觀測(cè)量需求提供有力支持,助力各領(lǐng)域的發(fā)展與進(jìn)步。