詳解ZYGO ZeGage Pro干涉儀參數(shù)與性能

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學(xué)輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術(shù)（CSI），能夠?qū)某饣轿⒋植诘母鞣N表面進(jìn)行三維形貌測量和二維輪廓分析。

在產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，ZeGage Pro的設(shè)計(jì)緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機(jī)于一體。其外殼采用工業(yè)級的鋁合金材料，確保了儀器在長時(shí)間運(yùn)行中的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進(jìn)行基礎(chǔ)操作和實(shí)時(shí)觀察。

該儀器的性能體現(xiàn)在其測量能力上。它能夠以納米級垂直分辨率捕捉表面細(xì)節(jié)，并提供大范圍的掃描區(qū)域。其重復(fù)性測量結(jié)果的一致性，有助于用戶進(jìn)行可靠的對比和趨勢分析。無論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應(yīng)對常見的測量挑戰(zhàn)。

深入理解ZYGO ZeGage Pro的參數(shù)有助于用戶判斷它是否滿足特定的測量要求。這些參數(shù)共同定義了儀器的能力邊界。

垂直分辨率： 這是衡量儀器分辨垂直方向微小高度差能力的指標(biāo)。ZeGage Pro的垂直分辨率可達(dá)亞納米級別，這意味著它能夠清晰地分辨出表面極其細(xì)微的起伏。

橫向分辨率： 這主要由所選物鏡的放大倍率和相機(jī)的像素大小決定。更高倍率的物鏡能提供更小的細(xì)節(jié)分辨能力，但相應(yīng)的視野范圍會變小。用戶需根據(jù)待測特征的大小在分辨率和視野之間做出選擇。

掃描范圍： 包括垂直掃描范圍和橫向視野范圍。垂直掃描范圍決定了儀器所能測量的最大高度差，通?？蛇_(dá)數(shù)毫米。橫向視野則取決于物鏡，從低倍下的大于10mm到高倍下的不足0.5mm。

測量速度： ZeGage Pro的測量速度受到多種因素影響，包括掃描范圍、掃描速度設(shè)置和數(shù)據(jù)分析的復(fù)雜程度。其快速掃描模式可以在保證數(shù)據(jù)質(zhì)量的前提下，提升檢測 throughput（通量）。

重復(fù)性： 指在相同條件下對同一樣品多次測量所得結(jié)果的一致性。良好的重復(fù)性是進(jìn)行可靠質(zhì)量控制和生產(chǎn)過程監(jiān)控的基礎(chǔ)，ZeGage Pro在重復(fù)性方面有不錯的表現(xiàn)。

典型參數(shù)表摘要：

這些參數(shù)并非孤立存在，而是相互關(guān)聯(lián)的。用戶需要結(jié)合自己最關(guān)注的應(yīng)用指標(biāo)（如是需要納米級的分辨率，還是需要測量較大的臺階高度）來綜合評估這些參數(shù)。

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