ZYGO ZeGage Pro：輔助適配與便捷操作
ZYGO 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 的高效檢測能力，不僅依賴于核心硬件與軟件的優(yōu)質(zhì)配置，其豐富的輔助設(shè)備適配選項(xiàng)與人性化的操作設(shè)計(jì)，更是大幅降低了檢測門檻，能輕松應(yīng)對柔性材料、微小零件等特殊樣品的檢測需求，同時(shí)讓不同操作經(jīng)驗(yàn)的用戶都能快速上手，提升整體檢測效率。
在輔助設(shè)備適配方面，ZeGage Pro 提供多種專用夾具與拓展模塊，覆蓋不同類型樣品的檢測需求。針對柔性樣品（如薄膜、紡織品），可搭配真空吸附夾具，通過負(fù)壓吸附將樣品平整固定在檢測平臺上，避免樣品褶皺影響檢測結(jié)果 —— 例如檢測柔性電子薄膜的表面粗糙度時(shí)，真空吸附夾具能讓薄膜保持緊繃狀態(tài)，確保掃描過程中樣品位置穩(wěn)定；對于微小零件（如 MEMS 器件、微型軸承），則可使用顯微定位夾具，該夾具配備精密調(diào)節(jié)旋鈕，能將樣品精準(zhǔn)定位至檢測鏡頭正下方，最小定位精度可達(dá) 10 微米，滿足微小樣品的精準(zhǔn)檢測需求。
此外，ZeGage Pro 還支持與自動(dòng)化上下料模塊聯(lián)動(dòng)，適配批量檢測場景。在電子元件生產(chǎn)車間，自動(dòng)化上下料模塊可通過機(jī)械臂將待檢測元件依次送至檢測平臺，檢測完成后自動(dòng)將元件分類至合格區(qū)與待檢區(qū)，整個(gè)過程無需人工干預(yù)，大幅提升批量檢測效率。同時(shí)，設(shè)備可搭配環(huán)境控制艙，實(shí)現(xiàn)對檢測環(huán)境溫度、濕度的精準(zhǔn)調(diào)控，當(dāng)檢測對環(huán)境敏感的樣品（如光學(xué)晶體、生物材料）時(shí)，環(huán)境控制艙能將溫度波動(dòng)控制在 ±0.5℃，濕度波動(dòng)控制在 ±2%，避免環(huán)境因素干擾檢測數(shù)據(jù)。
操作便捷性是 ZeGage Pro 的顯著特點(diǎn)。設(shè)備配備 10 英寸觸控顯示屏，常用檢測功能（如參數(shù)設(shè)置、掃描啟動(dòng)、報(bào)告導(dǎo)出）可通過觸控直接操作，界面圖標(biāo)清晰易懂，新手用戶經(jīng)過簡單培訓(xùn)即可獨(dú)立完成檢測。例如啟動(dòng)常規(guī)檢測時(shí)，只需在觸控屏上點(diǎn)擊 “快速檢測" 圖標(biāo)，選擇對應(yīng)樣品類型（如 “光學(xué)透鏡"“金屬零件"），系統(tǒng)會自動(dòng)加載預(yù)設(shè)參數(shù)，點(diǎn)擊 “開始" 即可啟動(dòng)掃描，無需手動(dòng)調(diào)整復(fù)雜參數(shù)。
配套的 MXP 軟件還具備智能輔助功能。軟件內(nèi)置 “檢測向?qū)? 模塊，針對不同檢測場景（如粗糙度檢測、面型分析）提供 step-by-step 操作指引，例如檢測半導(dǎo)體芯片金線高度時(shí)，向?qū)崾?“固定芯片→調(diào)整鏡頭焦距→設(shè)置掃描區(qū)域→啟動(dòng)掃描" 等步驟，并在關(guān)鍵環(huán)節(jié)彈出注意事項(xiàng)（如 “確保金線區(qū)域無遮擋"），降低操作失誤概率。同時(shí)，軟件支持檢測參數(shù)保存與調(diào)用，用戶可將常用的檢測參數(shù)（如掃描分辨率、分析標(biāo)準(zhǔn)）保存為模板，下次檢測同類型樣品時(shí)直接調(diào)用，減少重復(fù)設(shè)置時(shí)間。
在新興領(lǐng)域應(yīng)用中，ZeGage Pro 在柔性電子研發(fā)領(lǐng)域的表現(xiàn)尤為亮眼。以柔性顯示屏薄膜電路檢測為例，操作流程如下：第一步，將柔性薄膜電路樣品放置在真空吸附夾具上，啟動(dòng)負(fù)壓吸附功能，確保薄膜平整無褶皺；第二步，在 MXP 軟件中調(diào)用 “柔性電子檢測" 模板，設(shè)置掃描范圍為電路關(guān)鍵區(qū)域（如電極連接處，尺寸 2mm×2mm）、掃描分辨率 0.2μm；第三步，啟動(dòng)掃描，設(shè)備通過光學(xué)系統(tǒng)捕捉電路表面的三維輪廓，軟件實(shí)時(shí)生成 3D 圖像；第四步，掃描完成后，軟件自動(dòng)分析電路電極的高度差（判斷是否存在虛焊）、表面粗糙度（評估導(dǎo)電性能），并生成檢測報(bào)告，若發(fā)現(xiàn)電度差超過 5μm（可能導(dǎo)致接觸不良），軟件會自動(dòng)標(biāo)記該區(qū)域，幫助研發(fā)人員優(yōu)化薄膜電路制備工藝。
在生物醫(yī)學(xué)材料領(lǐng)域，ZeGage Pro 可用于人工關(guān)節(jié)表面紋理檢測。將人工關(guān)節(jié)樣品固定在旋轉(zhuǎn)式夾具上，設(shè)置 “環(huán)形掃描" 模式，掃描路徑覆蓋關(guān)節(jié)摩擦面（周長 50mm）；檢測過程中，軟件分析摩擦面的紋理深度、分布密度等參數(shù)，評估關(guān)節(jié)表面的耐磨性與生物相容性；檢測完成后，生成的 3D 輪廓圖可直觀展示紋理結(jié)構(gòu)，為人工關(guān)節(jié)的設(shè)計(jì)優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。
ZYGO ZeGage Pro 輔助設(shè)備與操作相關(guān)參數(shù)表：
無論是柔性電子、生物醫(yī)學(xué)等新興領(lǐng)域的創(chuàng)新檢測需求，還是批量生產(chǎn)中的高效質(zhì)量控制，ZYGO ZeGage Pro 都能通過靈活的輔助設(shè)備適配與便捷的操作設(shè)計(jì)，提供穩(wěn)定、高效的檢測解決方案，幫助用戶輕松應(yīng)對多樣化檢測挑戰(zhàn)。
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